?1位上安裝2個3通閥的緊湊型集裝式。
?采用插口連接（插入式接口連接的場合）
?可與可單獨配線的閥混裝。
| 系列 | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s?bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（標準） 0.15（帶節電回路） | －100kPa |
?1位上安裝2個3通閥的緊湊型集裝式。?采用插口連接（插入式接口連接的場合）?可與可單獨配線的閥混裝。系列流量特性2a/2b3（E）C［dm3/（ s?bar）］流量特性2a/2b3（E）b消耗功率（W）可真空使用VV1000.050.290.4（標
?1位上安裝2個3通閥的緊湊型集裝式。
?采用插口連接（插入式接口連接的場合）
?可與可單獨配線的閥混裝。
| 系列 | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s?bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（標準） 0.15（帶節電回路） | －100kPa |
